これからのMEMS LSIとの融合 [ 江刺 正喜 ]
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LSIとの融合 江刺 正喜 小野 崇人 森北出版MEMS LSI ヘテロ集積 センサ 光マイクロシステム コレカラノメムス エサシマサヨシ オノタカヒト 発行年月:2016年06月17日 ページ数:160p サイズ:単行本 ISBN:9784627775510 江刺正喜(エサシマサヨシ) 1949年宮城県に生まれる。1976年東北大学大学院博士課程(電子工学専攻)修了。東北大学・助手。1981年東北大学・助教授。1990年東北大学・教授(精密工学科)。2007年東北大学原子分子材料科学高等研究機構・教授、(兼)マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)・センター長(2010年)、革新的イノベーション研究機構(COI)リサーチフェロー(2015年)。工学博士 小野崇人(オノタカヒト) 1967年北海道生まれ。1996年東北大学大学院博士課程(精密工学)修了。東北大学・助手。2000年東北大学・助教授。2009年東北大学大学院工学研究科・教授(機械システムデザイン工学専攻)、(兼)マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)・副センター長(2010年)。工学博士(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです) 第1章 ヘテロ集積化(MEMSとLSIの融合)/第2章 次世代携帯機器/第3章 センサネットワーク・高機能センサ/第4章 光マイクロシステム/第5章 バイオ・医療用マイクロシステム/第6章 製造・検査装置/第7章 高度化と有効活用への道 MEMSはシーズからニーズの時代へ。これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、MEMSの今後の開発促進や有効利用をMEMS研究の世界的権威が解説する待望の一冊。「はじめてのMEMS」続編。 本 科学・技術 工学 電気工学 科学・技術 工学 機械工学