酸化物薄膜・接合・超格子 界面物性と電子デバイス応用 (物質・材料テキストシリーズ) [ 澤彰仁 ]
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商品説明
界面物性と電子デバイス応用 物質・材料テキストシリーズ 澤彰仁 内田老鶴圃サンカブツ ハクマク セツゴウ チョウコウシ サワ,アキヒト 発行年月:2017年04月 ページ数:324p サイズ:単行本 ISBN:9784753623099 澤彰仁(サワアキヒト) 1967年鳥取県生まれ。1989年筑波大学第三学群基礎工学類卒業。1991年筑波大学大学院理工学研究科修士課程修了。通商産業省工業技術院電子技術総合研究所研究官。2001年筑波大学博士(工学)。(独)産業技術総合研究所主任研究員。2002年〜2003年アウグスブルク大学客員研究員。2008年(独)産業技術総合研究所研究グループ長。2015年(国研)産業技術総合研究所副研究部門長(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです) 第1章 薄膜作製・評価・微細加工技術/第2章 酸化物薄膜成長/第3章 酸化物ダイオード/第4章 酸化物トンネル接合/第5章 酸化物超格子と2次元電子系/第6章 酸化物電界効果トランジスタ/第7章 酸化物薄膜の不揮発性メモリ応用 本 科学・技術 工学 電気工学