半導体デバイス第2版
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| 著者名 | S．M．シー/南日康夫 |
| 出版社名 | 産業図書 |
| ISBNコード | 9784782855508 |
| 発売日/出版年度 | 2004年03月30日頃 |
商品説明
本書は、最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書である。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際が集積回路に重点をおきつつ述べられている。